晶圓移載機械手臂 Wafer LD/ULD Robot  
 

Z 軸行程 =350mm 驅動方式:伺服馬達
Y 軸行程 =700mm 驅動方式:第一段無桿氣壓缸 第二段伺服馬達
Θ軸 =CW 180 ° / CCW 180 ° 驅動方式:伺服馬達