太陽能電池移載設備 Solar Wafer Load System      
 

5''/125mm*125mm ( ± 1.0mm )
6''/156mm*156mm ( ± 1.0mm )
厚度 160 ~ 240 μ m
Up time > 95% ( 不包含 PM 時間 )
Throughput : 1400 pcs/hour
Broken rate < 0.2%